化学镀铜溶液中稳定剂的研究

摘要：

对四羟丙基乙二胺和EDTA双络合剂化学镀铜溶液稳定剂进行研究.用高温大负载施镀实验进行初步筛选,研究了筛选出的稳定剂对沉积速率、镀液稳定性及镀层的影响.结果表明,亚硫酸钠和吐温-60能提高镀液稳定性并能获得较好的镀层.将亚硫酸钠与吐温-60进行组合,可提高镀液稳定性,沉积速率可达7.29 μm/h.用线性扫描和交流阻抗的方法对亚硫酸钠和吐温-60提高镀液稳定性的机理进行研究,结果表明,亚硫酸钠主要是与Cu+形成稳定的配合物,而吐温-60则是与Cu0吸附并使其失去催化活性.

关键词：化学镀铜、四羟丙基乙二胺、稳定剂、沉积速率

所属期刊栏目：36

分类号：TQ153.3

在线出版日期：2014-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9