纳米晶氧化钛薄膜的制取及表征

摘要：

在玻璃表面上通过磁控溅射金属钛薄膜,再运用阳极氧化使钛薄膜氧化生成纳米氧化钛,经过8 h,180℃的退火处理使其晶化.运用扫描电镜观察了晶化处理前后薄膜的表面形貌,用电子探针对薄膜进行了表征.通过X-射线衍射图谱表明,晶化处理后薄膜具有典型的晶体结构衍射峰尖锐特征,为锐钛矿纳米晶氧化钛薄膜;电子探针成分分析与X-射线衍射结果一致.最后讨论了其应用前景.

关键词：磁控溅射、阳极氧化、晶化、表征

所属期刊栏目：30

分类号：TG174.451(金属学与热处理)

资助基金：贵州省教育厅自然科学基金黔教科2004103

在线出版日期：2008-11-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：13-15