超声波化学沉积Co-Ni-B-Ce合金薄膜工艺的研究

摘要：

研究了超声波条件下工艺参数对Co-Ni-B-Ce合金化学沉积速度的影响,讨论了温度、声强、超声波频率、镀液组成等对沉积速度的影响.研究发现:温度、超声波频率、镀液组成对沉积速度有较大的影响.超声波使Co-Ni-B-Ce化学沉积速度提高30%,在超声条件下,镀液的稳定性降低.随着声强的增加,镀液容易发生自分解,沉积速度迅速减小.通过对工艺的分析,得出了Co-Ni-B-Ce合金超声波化学沉积的最佳工艺参数.

关键词：超声波化学沉积、沉积速度、声强、自分解

所属期刊栏目：28

分类号：TQ153.2

资助基金：国家自然科学基金50371023

在线出版日期：2006-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8