TMR单芯片微弱电流传感器的研制

庞振江1徐绥召2王峥1王海宝3郭海平2

1.国家电网有限公司; 2.江苏多维科技有限公司; 3.北京智芯微电子科技有限公司;

摘要：

针对微弱电流的检测,提出了一种单芯片微弱电流传感器,其原理是:利用隧道磁电阻(TMR)元件作为磁场敏感元件,并将电流导体和TMR元件进行集成,以减小电流导体与磁场敏感元件的间距,提高电流测量的分辨率.结合MEMS工艺,通过优化设计TMR元件结构和电流导体结构,研制出了电流分辨率达到20μA的微弱电流传感器,为微弱电流检测提供了一种有效、廉价的解决方案.

关键词：TMR元件、高分辨率、微弱电流检测、MEMS

所属期刊栏目：55

分类号：TM933

资助基金：工信部支持项目0714-EMTC02-5378/4

在线出版日期：2018-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：129-133