超软X射线隔膜面密度在线测量仪的研究应用

摘要：

从隔膜对超软X射线的衰减特性、射线强度与隔膜面密度的数学关系、工程模型建立等方面,阐述了超软X射线实现隔膜面密度在线测量的原理.介绍了测量仪的组成与各部件功能.测量仪在隔膜涂布生产现场的实际应用表明:其测量重复性与再现性小于10％;64组测量值与称重值的比对无显著差异,标准差为0.11 g/m2;利用测量仪构成闭环控制系统,面密度波动小于0.1 g/m2.

关键词：隔膜、超软X射线、面密度、闭环控制

所属期刊栏目：25

分类号：TM912.9

在线出版日期：2021-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：64-67,105