氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜性能的影响

摘要：

通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了一系列铝掺杂氧化锌透明导电薄膜,研究了氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的结构和光电性能的影响.X-射线衍射研究表明铝掺杂氧化锌薄膜是沿c-轴方向堆积的具有六方结构的多晶薄膜,实验获得的最佳沉积衬底温度和氧分压分别为400℃和5:100(O2/A r),在该条件下制备的铝掺杂氧化锌薄膜具有较低的表面电阻(<80 Ω/sq)和较高的平均透过率(>80%).

关键词：铝掺杂氧化锌薄膜、磁控溅射、氧分压、沉积温度、透明导电薄膜

所属期刊栏目：22

分类号：TQ132.41

资助基金：国家自然科学基金21761012

在线出版日期：2018-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：39-44