锂磷氧氮(LiPON)薄膜的制备及应用进展

摘要：

介绍了锂磷氧氮(LiPON)薄膜的结构与特性,综述了LiPON薄膜的制备方法以及应用情况,并就LiPON薄膜制备中出现的困难和以后的研究方向做了简单的评述.

关键词：锂磷氧氮(LiPON)、薄膜、制备、应用

所属期刊栏目：35

分类号：TM912.9

资助基金：中国科学院资助项目20083001;河南科技大学校科研和教改项目04015

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：459-461