基于PLC控制的交流伺服电机在晶体生长设备中的应用

摘要：

为实现人工晶体生长设备中低速提拉种晶杆的控制要求,应用PLC控制的交流伺服电机作为种晶杆的驱动,通过PLC与交流伺服驱动器的通信技术,可以准确地完成修改驱动器电子齿轮比及其有关的参数,达到对驱动脉冲进一步细分,在提高精度的同时满足低速控制的目的.实验表明,此方法对类似的控制也是行之有效的.

关键词：人工晶体、PLC、伺服电机、通信

所属期刊栏目：23

分类号：TM383.4(电机)

在线出版日期：2010-09-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：31-34