激光衍射技术在微内径测量上的应用

摘要：

分析了激光衍射理论在微内径测量上是可行的,并以此为指导研制可实际测量的激光微内径测试仪,通过实验测量的数据并对其进行精度分析,证明设计方案及原理是可行的.该研究成果可以应用到光纤对接、医用细胞注射器内径测量等技术上.

关键词：激光、衍射理论、Airy斑、微内径

所属期刊栏目：21

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2008-09-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：82-84,96