真空退火温度对AlCrSiN/Mo自润滑涂层结构与性能的影响

摘要：

采用高功率脉冲磁控溅射与脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术制备AlCrSiN/Mo自润滑涂层,通过真空退火处理改善其结构和性能.利用扫描电镜、X射线衍射仪、电子探针分析仪、纳米压痕仪、划痕测试仪及摩擦磨损试验机,系统研究真空退火温度对涂层组织结构、力学性能及耐磨性能的影响.结果表明:所有AlCrSiN/Mo涂层均是a-Si3 N4非晶相包裹nc-(Al,Cr,Mo)N的纳米复合结构.经真空退火后,涂层表面颗粒尺寸明显增大,对应纳米硬度与临界载荷均出现下降,而耐磨和减摩性能得到显著改善.当退火温度为700℃时,涂层的综合性能最佳,纳米硬度为18.3 GPa、摩擦因数为0.51、磨损率为3.4×10-4μm3·(N·μm)-1,此时特征值H/E和H3/E*2亦最高.

关键词：自润滑涂层、真空退火温度、高功率脉冲磁控溅射、临界载荷、磨损率

所属期刊栏目：49

分类号：TG174.4(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目;天津市科技军民融合重大专项;天津市自然科学基金

在线出版日期：2021-01-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：126-132