高温I TO薄膜应变计制备及压阻性能

摘要：

高温薄膜应变计被广泛应用于极端条件热端构件的应变测量.IT O薄膜应变计通常能够应用于1000℃以上的应变测量,为了研究ITO薄膜的显微结构、XPS光谱、阻温特性及压阻响应,采用磁控溅射在陶瓷基底上制备了ITO薄膜应变计,并在高温纯N2中热处理ITO薄膜.结果表明,其电阻温度系数稳定在-750×10-6℃-1,在1200℃下测试其应变特性,测得电阻漂移率为0.0018 h-1,应变因子为16.IT O薄膜在高温下具有稳定的电阻温度系数和低漂移率,为高温端部件应变的测量提供了可能.

关键词：ITO薄膜应变计、热处理、高温应变测量、电阻温度系数

所属期刊栏目：48

分类号：V241.7;TN389(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

资助基金：上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台项目17DZ2291400

在线出版日期：2020-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：145-150