MgO/Pd底层对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性及热稳定性的影响

摘要：

采用磁控溅射方法在玻璃基片上制备以MgO/Pd为底层的CoSiB/Pd多层膜样品,研究MgO底层厚度t对CoSiB/Pd多层膜垂直磁各向异性(perpendicular magnetic anisotropy,PMA)的影响,分析具有MgO/Pd底层的多层膜的热稳定性.通过对样品的反常霍尔效应的测试分析发现,底层中引入MgO层能够提高其PMA性能,当t为3.5 nm时,样品的矩形度最好.对最佳样品MgO(3.5 nm)/Pd(3 nm)/[CoSiB(0.5 nm)/Pd(0.8 nm)]2/Ta(2 nm)的磁滞回线进行测试,其有效磁各向异性常数Keff达到2.0×105 J/m3.热稳定性分析发现,当退火温度为200℃时,样品的Keff达到最大值2.6×105 J/m3;当退火温度达到400℃时,样品仍能保持良好的PMA性能.

关键词：CoSiB/Pd多层膜、反常霍尔效应、垂直磁各向异性、有效磁各向异性常数

所属期刊栏目：48

分类号：O469(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：北京市教育委员会2018科技计划重点项目;北京工商大学科研团队建设项目;2019年研究生科研能力提升计划项目

在线出版日期：2020-03-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：65-70