共掺浓度对Na-Al共掺杂ZnO薄膜微观结构和光电性能的影响

摘要：

在石英玻璃衬底上,通过溶胶-凝胶旋涂法制备得到钠铝(Na-Al)共掺氧化锌(ZnO)薄膜(NAZO).研究不同Na-Al共掺杂浓度对ZnO薄膜的结晶性、微观结构、光电性能的影响.结果表明:所有NAZO薄膜样品都沿c轴择优取向生长;适当的Na-Al共掺浓度,可以提高ZnO薄膜结晶性,提高薄膜的载流子迁移率;同时还可以观察到NAZO薄膜表面生长出六角柱状结构晶粒.随着Na-Al元素掺杂浓度的改变,所获薄膜的最高平均光学透过率达到95％.由于元素间固溶比的不同,适当的浓度可以提高Na-Al元素的掺杂效率和薄膜内部的载流子浓度,降低薄膜电阻率,NAZO薄膜最低电阻率为4.7×10-2Ω·cm.

关键词：ZnO、溶胶-凝胶、Na-Al共掺杂、微观结构、光学性能

所属期刊栏目：46

分类号：O472(半导体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61464005,51562015;江西省自然科学基金20151BAB212008;江西省青年科学家重点项目20153BCB23004;江西省科技厅重点研发计划项目20171BBE50053;江西省科技落地计划项目KJLD12085,KJLD14075

在线出版日期：2018-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：51-56