钛合金表面Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜制备及性能

摘要：

采用多靶位真空阴极电弧沉积技术,在TC11钛合金表面制备24周期的Ti-TiN-Zr-ZrN软硬交替多元多层膜.用扫描电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、结合力划痕仪、球-盘摩擦磨损试验仪、砂粒冲刷试验仪和3D表面形貌仪,研究多层膜的表面及截面形貌、相结构、厚度、硬度、膜/基结合力、摩擦磨损性能和抗砂粒冲蚀性能.结果表明:所制备Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜厚度约为5.8μm,维氏显微硬度为28.10GPa,膜基结合力为56N;TC11钛合金表面镀多层膜后耐磨性提高了一个数量级,体积磨损率由7.06×10-13m3·N-1·m-1降低到3.03×10-14m3·N-1·m-1;多层膜软硬层交替的结构,受砂粒冲蚀时裂纹扩展至金属软层时应力的缓冲而出现偏转,对TC11钛合金有良好的抗砂粒冲蚀保护作用.

关键词：Ti-TiN-Zr-ZrN多层膜、钛合金、冲蚀、真空阴极电弧沉积

所属期刊栏目：45

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

资助基金：广东省省级科技计划项目资助2014B070706026,2013B061800053

在线出版日期：2017-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35