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10.11868/j.issn.1001-4381.2015.000229

类金刚石膜研究进展

引用
类金刚石膜具有高硬度、高热导率、低摩擦因数、良好的耐磨性能和化学惰性等优异的物化性能,在热沉、微电子、抗核加固、生物和汽车工业等领域具有重大的应用前景,近年来吸引了众多研究和关注.文章综述了类金刚石膜的研究进展和膜的成核机理,展示了类金刚石的应用前景,为该材料的研究和工业化应用提供思路和参考.

类金刚石膜、成膜机理、结合力、摩擦性能

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O484(固体物理学)

国家自然科学基金资助项目11304254;香港研究资助局基金资助715612,17206714;西南科技大学核废物与环境安全国防重点学科实验室基金资助13zxnk11,13zxnk09

2017-04-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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材料工程

1001-4381

11-1800/TB

45

2017,45(3)

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