Mo 离子注入对纯铜表面纳米层稳定性的影响

摘要：

采用表面机械研磨处理（SMAT）对纯铜进行表面改性，通过金属蒸汽真空弧离子注入技术在纳米表层注入Mo离子。利用光学显微镜（OM）、X射线衍射分析仪（XRD）和扫描电镜（SEM）观察SMAT处理效果，表面存在纳米层和变形层，通过原子力显微镜（AFM）表征纳米层的晶粒尺寸。结果表明：晶粒尺寸得到了显著的抑制，表面纳米层的晶粒在退火后长大到163nm，而注入了Mo离子的只长大到72nm。此外，SMAT并离子注入后材料表面的硬度仅达到SMAT试样的3．5倍，是纯Cu基体硬度的7倍左右。Mo离子的分散和由SMAT及离子注入引入晶体缺陷的反应促使了这些优化现象的产生。

关键词：表面机械研磨处理、离子注入、表面纳米层、微观结构、硬度

所属期刊栏目：44

分类号：TG146.1;TG113(金属学与热处理)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51361017，51301078

在线出版日期：2016-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：40-45