层厚比对磁控溅射Cr/CrN多层涂层组织和性能的影响

摘要：

在超高真空磁控溅射仪上,制备了一系列具有相同调制周期不同层厚比的Cr/CrN涂层.用X射线衍射仪分析了涂层的相组成,通过扫描电镜观察了涂层形貌,采用显微硬度计测试了涂层硬度,在划痕仪上确定涂层和基体间的结合力,并利用磨损仪测量涂层的摩擦磨损性能.结果表明:调制周期为400nm时,当层厚比由2.0减小到0.2,Cr/CrN多层涂层始终由Cr和CrN两相组成,涂层择优取向为CrN(200),且涂层变得愈加致密,硬度从1550HV增大到2300HV,磨损率从2.4×10-8mm3·N-1·m-1减小为0.6×10-8mm3·N-1·m-1,涂层和基体结合性能优良.

关键词：Cr/CrN多层涂层、层厚比、硬度、磨损率

分类号：TB3;TG14;TG17(工程材料学)

资助基金：国家自然科学青年基金51301087;南京工程学院校级科研基金项目资助YKJ201210;江苏省大学生实践创新训练计划项目201411276002Z;南京工程学院大学生科技创新基金N20140224;国家自然科学青年基金51201033;南京工程学院校级青年基金一般项目QKJB201202

在线出版日期：2015-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：28-33