Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜晶体结构和磁性能的影响

摘要：

采用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了不同Fe掺杂量的TiO2薄膜,并对薄膜分别在空气和真空氛围下500℃进行30min退火处理.研究了Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜的结晶状态、表面形貌和磁性能的影响.结果表明,真空中500℃下退火的Fe掺杂的TiO2薄膜表现为非晶态结构,没有观察到室温铁磁性能的出现,而空气中500℃退火的样品显示出良好的结晶状态,且所有掺杂的样品均显示出室温铁磁性,并且随着Fe掺杂量的增加,TiO2薄膜的晶体结构逐渐由锐钛矿相向金红石相转变.

关键词：稀磁半导体、晶体结构、铁磁性、退火氛围

分类号：O484.4+3(固体物理学)

资助基金：河北省自然科学基金A2012101001;河北省科技支撑计划项目132176278;河北省承德市财政扶持项目CZ2012007;河北省教育厅自然科学研究青年基金QN20132013

在线出版日期：2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：101-105