非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

摘要：

采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN /NbN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌.结果表明,在调制周期为19.86nm时,纳米压痕硬度达到43GPa.利用三点弯曲法形成裂纹的扩展,并观察到了裂纹的偏转特征.

关键词：纳米多层膜、力学性能、调制周期

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金项目51102013

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：92-96