沉积时间对ZrTiN涂层微观结构及性能的影响

摘要：

采用多弧离子镀膜法,在YT15及YG8硬质合金基体上沉积ZrTiN硬质涂层,并分析涂层微观形貌、物相组成、涂层的厚度、硬度及结合力等性能参数随沉积时间的变化.结果表明:沉积时间不会影响ZrTiN涂层的晶面指数,涂层中只有单一面心立方结构相形成,且晶面指数始终为(111)；涂层的晶粒尺寸约为10nm且随沉积时间变化不大.沉积时间为120min时,涂层的显微硬度和结合力明显下降.

关键词：ZrTiN涂层、多弧离子镀、沉积时间、微观结构、性能

分类号：O484.1(固体物理学)

资助基金：国家"973"计划项目2009CB724402;国家自然科学基金项目51075237;山东省杰出青年基金项目JQ200917;山东省自然科学基金重点项目ZR2010EZ002

在线出版日期：2012-07-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：30-34,38