冷坩埚原理及其在多晶硅制备中的应用

摘要：

综述了冷坩埚技术的原理、特点与技术要求,重点介绍了电磁冷坩埚技术的工艺性能与影响因素,总结了各因素对冷坩埚性能的影响规律,最后概述了冷坩埚技术在多晶硅提纯与成型制备中的优势和应用,并展望了其未来的发展.

关键词：冷坩埚、电磁感应、多晶硅、提纯

分类号：TF133(冶金技术)

资助基金：国家自然科学基金项目50804012;华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室开放基金2010-P10

在线出版日期：2011-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：90-96