水平震荡机械研磨对酸性镀铜微观结构的影响

摘要：

在传统酸性镀铜液中加入玻璃球,玻璃球以不同频率在试样表面滚动-滑动形成机械研磨(MA).利用SEM,XRD和AutoLab考察震荡频率对机械研磨增强镀层(MAEE)的微观结构、晶粒尺寸、沉积速率、孔隙率和在3.5%NaCl(质量分数)溶液中耐蚀性的影响.结果表明,与传统镀层(TEP)相比,水平震荡MA可显著减小TEP镀层的晶粒尺寸和孔隙率,显著提高TEP镀层的耐蚀性.在1.0～4.0Hz范围内,改变频率对MAEE镀层晶粒细化的影响不明显,当震荡频率为2.0Hz和3.0Hz时,由于MA的不均匀性,使MAEE镀层的性能下降,但仍明显优于TCP镀层.讨论了水平震荡频率对MAEE微观结构的影响机理.

关键词：机械研磨、电沉积、铜镀层、水平震荡、结构、耐蚀性

分类号：TQ153

资助基金：江西省自然科学基金资助项目2008GQC0038;无损检测技术教育部重点实验室资助项目ZD200729008

在线出版日期：2011-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：81-86,98