高温流态化合成氮化硅的实验研究

摘要：

采用自行设计的高温流化床,利用流态化技术合成了氮化硅粉.研究了温度对硅粉床层流化特性的影响.利用K值法对XRD结果进行计算分析,得到了转化率随反应时间的变化规律.结果表明:随着温度的升高,床层流化所需的最小气速增大.氮化反应初期存在一定的反应诱导期,在转化率为20%～40%时,反应比较剧烈.随后反应速度减缓,160min后反应速度基本不再变化.流态化技术的采用为实现常压条件下连续化生成氮化硅工艺提供了实验基础.

关键词：氮化硅、高温流态化、直接氮化

分类号：TQ037;TQ026.7(一般性问题)

在线出版日期：2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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