磁控溅射Cr/C镀层耐热性能研究

摘要：

在空气炉加热环境下于不同温度对采用磁控溅射离子镀技术制备Cr/C镀层样品进行加热保温处理.研究了不同加热温度下镀层的相结构、硬度和结合力的变化,考察了Cr/C镀层的耐热性能.结果表明:在600℃以下,Cr/C镀层保持了高硬度和强结合力的性能,表明镀层具有良好的耐热性能;镀层受热过程中生成了致密的铬氧化物及铬碳化合物,起到阻碍了氧原子向内层扩散的效果,使镀层氧化失稳的温度大大提高,从而保证了良好的耐热性能;处理温度达800℃后,镀层硬度和结合力明显下降.

关键词：磁控溅射、Cr/C镀层、热处理、耐热性能

分类号：TG174.32;O484.5(金属学与热处理)

资助基金：国家"863"科技攻关项目2005AA33H010;西安理工大学创新基金101-210603

在线出版日期：2009-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-40