KMC模拟薄膜生长反常效应的研究

摘要：

以扩散理论基础,建立以"基本微观过程"为核心的新模型,首次对存在表面活化剂时薄膜生长的微观过程进行KINETIC MONTECARLO模拟.模拟发现,温度较低时沉积原子自身更容易聚集成核,这一反常效应是由于表面活化剂原子比沉积原子更容易被激活扩散造成的.活化层原子和沉积原子都会发生跨层间的扩散,交换比并非恒等于1,而是与温度、入射率、成膜厚度等多种因素有关.

关键词：KMC、薄膜、反常效应、交换

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金10574059;甘肃省自然科学基金0710RJZA074;兰州交通大学"青蓝"人才工程计划、光电技术与智能控制教育部重点实验室开放基金K040101;中国博士后科学基金

在线出版日期：2008-11-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-31,34