纳米碳管催化CVD工艺中多物理场的耦合模拟分析

摘要：

为了研究工艺参数对于化学气相沉积工艺制备纳米碳管的影响,建立了描述CVD工艺的2D轴对称几何模型,对CVD工艺中的温度场,前驱体浓度场、速度场进行了耦合模拟分析.研究结果表明在CVD炉内沿轴向存在一个很大的温度梯度,但高温沉积区域温度均匀稳定,前驱体乙炔浓度适中,有利于纳米碳管的生长.模拟结果的精确度高,可用于纳米碳管CVD工艺的参数优化,最终达到在计算机上做实验的目的.

关键词：纳米碳管、化学气相沉积、数值模拟

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2008-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：11-14