低压气相金刚石薄膜镀膜刀具膜/基附着性能压痕测试分析

摘要：

低压气相金刚石薄膜硬质合金刀具在直流弧光放电等离子体CVD镀膜设备上制备.基底为YG6(WC-6%Co,质量分数)硬质合金刀具.采用洛氏(HRA)、表面洛氏(HRM)、维氏(HV)硬度试验机对所制备的金刚石薄膜刀具进行压痕测试;采用扫描电镜(SEM)观察压痕形貌并定性评价膜/基附着性能.结果表明:所制备的金刚石薄膜镀膜刀具的优选膜/基附着性能压痕测试方法是表面洛氏压痕法;优选测试条件为采用120°金刚石圆锥压头,测试加载载荷441N.

关键词：金刚石薄膜、硬质合金刀具、附着性能、压痕测试、等离子体CVD

分类号：TG711;O53(刀具、磨料、磨具、夹具、模具和手工具)

资助基金：国家自然科学基金40572030;四川省教育厅资助项目2003A142;四川省科技攻关项目05GG021-001;成都理工大学校科研和教改项目2004QJ03

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：57-63