氧化物辅助生长硅纳米线

摘要：

氧化物辅助生长机理是近年来在合成硅纳米线的过程中发展起来的一种研究一维纳米材料生长的机理,根据此机理已经制备出了多种一维纳米材料.介绍了氧化物辅助生长机理及其根据此机理制备硅纳米线的制备方法,载气、压力及原料等不同条件对合成硅纳米线的影响等进展情况,并对其发展作了展望.

关键词：硅纳米线、氧化物辅助生长、激光烧蚀、热蒸发

分类号：TN305.3;TN304.1(半导体技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研项目20040532014

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：54-58