n-C7H16/CCl4体系CVD-热解炭的形貌与形成机理

摘要：

控制CVD工艺条件得到球状热解炭, 通过对沉积中间体的定性分析,证实了此过程中存在"缩聚机理". 运用热力学和晶体成核-长大理论,解释了温度对热解炭形貌和沉积过程的影响.

关键词：热解炭、化学气相沉积、沉积机理

分类号：TQ342.742

在线出版日期：2004-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：51-54,63