PZT薄膜在MEMS器件中的研究进展

摘要：

主要介绍在MEMS器件中PZT薄膜制备的方法、制备过程中需要解决的问题、PZT薄膜与MEMS的集成以及PZT在MEMS中的应用的研究进展,并展望了PZT薄膜的应用前景.

关键词：PZT、薄膜、MEMS

分类号：TQ174.75

资助基金：黑龙江省科技计划GB02A302

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-40