PCS先驱体转化法制备SiC涂层的浸渍工艺

摘要：

在聚碳硅烷(PCS)先驱体转化法制备SiC涂层的浸渍工艺参数中,浸渍溶液的PCS浓度对涂层形貌影响最大,而其他参数的影响很小.当PCS的浓度不大于30%时均可以获得均匀、致密的SiC涂层.随着PCS浓度的增大,涂层厚度增加;单次浸渍可获得的SiC涂层最大厚度为1～2μm.

关键词：SiC涂层、聚碳硅烷、浸渍

分类号：TL342;TQ163+.4(核反应堆工程)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：28-30