微等离子体氧化法制备钛酸钡陶瓷膜

摘要：

用微等离子体氧化法制备出纯相的BaTiO3陶瓷膜,对所得的陶瓷膜进行XRD和EPMA分析.结果表明,膜层中钡钛两种元素分布均匀,无浓度梯度变化.结合实验现象和测试结果,探讨了浓度和电流密度对陶瓷膜的影响,并提出了BaTiO3陶瓷膜成膜过程中的可能反应机制过程.

关键词：微等离子体氧化、相组成、元素分布、成膜过程

分类号：TB174.453(工程基础科学)

资助基金：国家自然科学基金50171026;哈尔宾工业大学校科研和教改项目HIT.MD2000.19

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：34-37