多弧离子镀(Ti,W)xN合金涂层组织与性能

摘要：

采用Ti/W复合靶用多弧离子镀技术沉积了(Ti,W)xN合金涂层,并对该涂层的组织与性能进行了研究.结果表明,涂层组织致密,孔隙率极低,主要结构为(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和抗氧化性.在沉积过程中存在着多元合金涂层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关.

关键词：多弧离子镀、(Ti、W)xN涂层、组织性能、成分离析

分类号：TG142;O484(金属学与热处理)

资助基金：广东省高教厅科研项目;广东工业大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,41