WOx薄膜结晶特性的HREM和STM研究

摘要：

对反应溅射沉积的WOx薄膜在电致变色反应中结晶性能的变化进行了研究.结果表明:电致变色反应增加了薄膜的晶体特性,使着退色WOx薄膜的选区电子衍射呈现明显的多晶环特性,而原始沉积态WOx薄膜为非晶光晕衍射特性.STM分析得知,电致变色反应使薄膜的表面形貌也发生了剧烈的变化.

关键词：电致变色反应、晶体特性、HREM、STM

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42