W/Mo超晶格薄膜的微结构研究

摘要：

纳米多层膜因常出现物理或力学性能的异常而成为薄膜研究的热点之一.采用XRD和TEM技术研究了W/Mo纳米多层膜微结构.结果表明,W和Mo由于同为体心立方结构,且晶格常数相近,由它们交互重叠形成的纳米多层膜具有柱状晶穿过调制界面外延生长的结构特征,形成多晶超晶格结构.

关键词：W/Mo纳米多层膜、超晶格、磁控溅射

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-27