高取向度PZT铁电薄膜的研制

摘要：

用无机盐替代锆的醇盐,通过Sol-Gel方法,合成均匀、稳定的PZT溶胶.采用Pt/Ti/SiO2/Si基片并加入PT过渡层,经快速热处理,制备出沿(100)高度定向的PZT陶瓷薄膜,此薄膜具有良好的铁电性能.

关键词：锆钛酸铅、溶胶-凝胶、铁电薄膜

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-18