化学气相沉积法制备ZnS块材料的相结构

摘要：

用化学气相沉积法制备了红外晶体ZnS块材料;分别用XRD和TEM分析了所沉积ZnS的相结构,并用IR测试了其红外透过率.结果表明:在沉积温度为550～700℃,H2S/Zn摩尔流量比为0.5～20的条件下所沉积ZnS的相结构主要为闪锌矿结构;随着沉积温度的升高和H2S/Zn摩尔流量比的增大,ZnS中有纤锌矿结构出现且其含量增多,导致了ZnS红外透过率的降低.

关键词：化学气相沉积、ZnS块材料、相结构

分类号：TB3(工程材料学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：6-8