双离子束溅射Al2O3高温绝缘薄膜的氧分压研究

摘要：

采用双离子束溅射沉积法(DIBSD)制备了用作高温绝缘层的Al2O3薄膜,分析了所制备Al2O3薄膜的表面和截面形貌,研究了溅射氧分压对薄膜氧铝元素比的影响,并进一步探讨了氧铝元素比对Al2O3薄膜高温绝缘性能的影响.研究结果表明:双离子束溅射沉积法制备的Al2O3薄膜表面平整度高,粗糙度约为2.86 nm,截面形貌致密,没有微裂纹、空隙等缺陷;溅射氧分压的提高可以增加所制备Al2O3薄膜的氧铝元素比例,18％溅射氧分压下制备的Al2O3薄膜O:Al约为1.44,接近Al2O3化合物的元素比;18％氧分压溅射的Al2O3薄膜,在1000℃具有6.5 MΩ的绝缘电阻值,高温绝缘性能良好.

关键词：双离子束溅射沉积法、Al2O3薄膜、高温绝缘、溅射氧分压、氧铝元素比

所属期刊栏目：41

分类号：V23;TP212(航空发动机（推进系统）)

资助基金：国家重点研发计划;国家基础研究项目

在线出版日期：2023-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：8-12,35