基于全硅工艺的硅谐振压力传感器设计与制备

摘要：

硅谐振压力传感器制备工艺包括硅-玻璃工艺和全硅工艺,采用硅-玻璃工艺时,硅材料和玻璃材料热膨胀系数存在差异,会产生热应力.为解决硅材料和玻璃材料热膨胀系数不匹配而产生的热应力,设计一种基于全硅工艺的硅谐振压力传感器.该设计采用全硅工艺制备,其中电极层和敏感膜层集成于一体,密封层实现真空键合,在消除热应力的同时可减小黏接剂带来的应力干扰.采用全硅工艺制备的硅谐振压力传感器能够克服各种应力干扰,使传感器迟滞、重复性等指标得到改善,进而提升综合精度、长期稳定性等指标.全硅工艺还可改善传感器温度系数,可提升传感器温度跟随性指标.传感器最终测试结果显示,其综合精度优于±0.01％F.S.,其余指标如温度系数、迟滞、重复性等均优于基于硅-玻璃工艺的同类产品.

关键词：硅谐振压力传感器、全硅、热应力、温度系数、迟滞、设计与制备

所属期刊栏目：41

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2022-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：127-132