迈克耳孙干涉仪在精密尺寸测量中的应用

摘要：

应用物理学中的迈克耳孙干涉仪知识,介绍其在精密尺寸测量中的运用.即将被测物体尺寸与标准量块在迈克耳孙干涉仪上进行比较,然后通过测量尾数差,来确定两者的差值,从而获得被测物体尺寸的准确值.

关键词：干涉、量块、被测尺寸、尾数差

所属期刊栏目：25

分类号：TM93

资助基金：攀枝花市应用技术研究与开发资金项目2006CY-G-11

在线出版日期：2007-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：5-6