纳米级超精密抛光机控制系统的研制

摘要：

简述超精密加工技术现状,介绍超精密平面抛光机的工作原理,分析达到纳米级超精密抛光的技术难点,并阐述了纳米级超精密抛光智能控制系统的实现.

关键词：超精密抛光、嵌入式处理器、专家系统

所属期刊栏目：21

分类号：TG5(金属切削加工及机床)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：39-42