微机械薄膜应力的在线测试结构

摘要：

微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响,因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的.介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法,详细分析了各种方法的特点.对于MEMS薄膜应力测试结构设计有一定的参考价值.

关键词：在线、应力、微结构、薄膜、测量

所属期刊栏目：21

分类号：TN304.07(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：6-9