压膜阻尼在声表面波加速度传感器中的应用

摘要：

声表面波（SAW）加速度传感器的精度高，具有数字量输出、体积小、功耗低、抗干扰力强、可靠性高等优点。根据SAW加速度传感器工程化的需要，对SAW加速度传感器中所采用的压膜阻尼进行了理论分析，并采用机电等效模拟技术对微间隙压膜阻尼进行了仿真，取得了较好的效果。这种分析方法同样适用于其他类型的传感器。

关键词：声表面波(SAW)加速度传感器、压膜阻尼、机电模拟

所属期刊栏目：20

分类号：TH823

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23