电磁型微马达及其控制方式应用研究

摘要：

对φ1 mm和φ2 mm电磁型微马达的原理、结构进行了详细介绍。利用微马达可以作为同步电机使用的特性实现微马达的快速运转，同时利用其步进特性实现单步进给。为了实现微马达在精密MEMS系统中的应用，采用了一种简单、实用的方式来实现微马达的步距细分。该马达良好的性能和完善的控制方式提高了其实用能力。

关键词：MEMS、微马达、微执行器、微型机器人、细分

所属期刊栏目：19

分类号：TP2(自动化技术及设备)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7