靶基距对Mg掺杂TiO2薄膜厚度及结构的影响

摘要：

利用台阶仪、X-射线衍射仪分别研究了薄膜厚度及物相.实验结果表明:随着靶基距的减小,薄膜的厚度增加,而对于纯TiO2主峰的衍射峰强度增加;除了靶基距为4 cm的薄膜中有锐钛矿结构的MgTi2O5杂相之外,其它靶基距的薄膜均为TiO2的锐钛矿与金红石的混合相;在靶基距为6 cm时锐钛矿相TiO2的晶粒尺寸最大,大小为34 nm;在靶基距为7 cm时金红石相TiO2的晶粒尺寸最大,大小为11.5 nm.

关键词：TiO2薄膜、磁控溅射、靶基距

所属期刊栏目：35

分类号：O469;O552.5(真空电子学（电子物理学）)

资助基金：国家自然科学基金;内蒙古自治区高等学校科学研究项目

在线出版日期：2016-05-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22