科研装备研制项目——“高离化率磁控溅射复合受控阴极电弧镀膜装置”通过中科院验收

摘要：

2016年6月30日,中国科学院宁波材料技术与工程研究所承担的中国科学院科研装备研制项目——“高离化率磁控溅射复合受控阴极电弧镀膜装置”顺利通过了中国科学院条件保障与财务局组织的验收.验收专家组由来自苏州纳米所、物理研究所、合肥强磁场科学中心、中国计量大学、苏州大学、金属研究所、兰州化物所、上海硅酸盐所等有关单位的专家组成.中国科学院条件保障与财务局副局长曹凝、科技条件处副处长姜言彬出席了验收会.

机标关键词：科研、装备研制项目、离化率、磁控溅射、受控、阴极电弧、镀膜装置、中科院、中国科学院、条件保障、专家组、验收、工程研究所、物理研究、苏州大学、科学中心、科技条件、金属研究、财务、材料技术

所属期刊栏目：16

分类号：F22;E92

在线出版日期：2016-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：61