基于MEMS的智能集成汽车传感器的研究

摘要：

随着汽车传感器的迅速发展和MEMS技术的深入研究,基于MEMS技术的汽车传感器具有广阔的应用前景. 本文从传感器原理、MEMS技术理论与制造工艺、智能传感器理论与控制算法、软件与硬件实现、以及集成原理与工艺等几个方面,综合运用MEMS技术、人工智能、信息融合、半导体加工等先进技术,研究基于MEMS技术的智能集成汽车传感器问题. 最后对MEMS汽车传感器今后的发展研究进行了探讨.

关键词：汽车传感器、MEMS技术、智能传感器系统

所属期刊栏目：25

分类号：TP212.6(自动化技术及设备)

资助基金：北京市教委科技发展计划KM200610011003

在线出版日期：2007-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：18-22