基于生物刻蚀原理制作微小齿轮结构

摘要：

生物刻蚀是从生物学的角度研究加工制造的方法.采用氧化亚铁硫杆菌作为生物氧化剂,刻蚀铜及铜合金材料的基片表面,获得微小齿轮结构,并对细菌的生长环境进行了分析研究.

关键词：光刻、氧化亚铁硫杆菌、生物刻蚀

所属期刊栏目：23

分类号：TN305.7(半导体技术)

资助基金：兵器预研基金BZJ050702

在线出版日期：2005-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：21-23,31