Hydrogen distribution in CVD diamond films prepared by DC arcjet operating at gas recycling mode

机标关键词：gas recycling、substrate temperature、hydrogen content、scanning electron microscopy、diamond films、nuclear reaction analysis

所属期刊栏目：9

分类号：TG(金属学与金属工艺)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：441-443