小水量超纯水制备系统的最佳工艺选择

摘要：

超纯水作为与电子元器件接触最多的介质之一,在半导体行业中占据着重要地位.本文从工艺路线、费用投资、运行成本及二次污染等方面,探讨针对小水量超纯水制备的最佳工艺路线.最终证明:在进水水质、产水水质以及产水量等条件相同的前提下,采用全膜法制备超纯水比2B3T工艺更具有优势,也将成为未来制备小水量的超纯水系统的主体工艺.

关键词：超纯水、全膜法、2B3T、小水量系统

在线出版日期：2022-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：71-73